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概述Edwards 18B4B 蒸汽增压泵以介于机械增压泵与扩散泵之间的压力提供*高达 6000 l s-1 的更高抽速。Edwards 的蒸汽增压泵已在本领域经历了 30 多年的实践检验。通过持续的更新和现代化计划并汲取 OEM 和*终用户的意见,加之其固有的可靠性、易用性和对各种不同进气口压力和排气压力的适应能力,这些增压泵广泛应用于冶金和镀膜行业及其他专门领域。
技术
蒸汽增压泵的运行方式与蒸汽扩散泵的运行方式类似,但除了具有环形喷射器外,它们还具有一个喷射器级,大大提高了泵的吞吐量。这些泵的极限压力大约为 10-4 至 10-5 mbar 范围内,高于此压力时,泵对于**气体表现出极高的抽速。由于临界前级压力较高,可使用相对较小的机械前级泵。这些泵可在 10-1 to 10-4 mbar 范围内使用,在此范围内,旋转泵会达到其极限,普通扩散泵则表现不稳定。
这些泵大多用于抽送受污染的系统和高负荷量的氢气,从而适合在冶金和化学制程中应用。
应用
真空冶金
蒸馏、干燥和脱气
薄膜覆层和喷镀
大型研究活动
特性与优势
高工作压力下实现极高抽速
工作压力下实现极高吞吐量
快速转换实现出色的抽气速度
已经过 40 多年行业实践检验
出色的可靠性
可以取代 Stokes 16" 液环射流增压泵
锅炉填注口便于进行清洁