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罗茨真空泵是一种旋转式容积真空泵。其结构形式是由罗茨鼓风机演变而来的。是为适应在10 ~ 1000Pa 压力范围内具有大抽速的真空熔炼系统而作为机械增压泵使用。那下面就具体介绍下罗茨真空泵与油封式真空泵相比具有的特点。罗茨真空泵与油封式真空泵相比有以下特点:
(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速;
(2)转子具有良好的几何对称性,故振动小,运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙,不用润滑,摩擦损失小,可大大降低驱动功率,从而可实现较高转速;
(3)泵腔内无需用油密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的污染;
(4)泵腔内无压缩,无排气阀。结构简单、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感;
(5)压缩比较低,对氢气抽气效果差;
(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面,加工和检查比较困难。
罗茨真空泵近几年在国内外得到较快的发展。在冶炼、石油化工、电工、电子等行业得到了广泛的应用。