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单侧电极inficon电容薄膜真空规管结构图郭占社等提出了基于峰值检测的微电容测量法,该方法可用于检测inficon设备上的单一电容变化量。电路采用实时峰值检测技术,只检测待测电容的变化量。 首先正弦载波信号及微分电路对inficon器件输出的电容量进行载波调制,然后通过减法电路得到幅值与电容变化量成比例的正弦信号, 很后用峰值检测方法对信号进行解调,得到直流输出。测试结果表明,该测量电路具有良好的线性,测量精度可以达到2%,灵敏度可以达到3.6V/pF。但该电路不易于小型化集成。
图2基于峰值检测的微电容测量电路框图Wang等设计了一种具有宽温度范围的基于CMOS的微电容测量电路。 电路采用相关双采样方法,Vref为输入参考电压,时钟信号Φ1、Φ2通过控制开关控制电容的充放电从而完成对敏感电容的测量。保持电容Ch1、Ch2用来存储和消除低频噪声及运算放大器的偏置电压。
电路采用结构简单、性能稳定的二阶Σ-Δ调制器来实现高的分辨率,其中电容C3=2C4。测量过程分为两个阶段,当信号Cal置“0”时,电路处于正常工作状态,输出为y;当信号Cal置“1”时,电路处于校准状态,C1和C2位置互换,此时输出为y′。两种状态下的输出信号都包含由时钟反馈回路、电荷注入效应、开关漏电流等产生的噪声,两者相减即可消除这些噪声。
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静电力平衡式微电容测量法适用于静电力平衡式inficon电容薄膜真空计,电路为闭环结构,包括微电容测量电路和静电力控制回路,其中静电力控制回路用来产生平衡感压薄膜的静电力,对系统的测量性能有着至关重要的影响,该方法在保证真空计高准确度测量的同时还能拓宽其动态测量范围。
inficon电容薄膜真空计用于真空测量,要求在较宽的压力测量范围内能测得较小的压力变化量,同时需要满足深空探测、临近空间探测以及空气动力学实验等活动中测量仪器小型化的要求,所以测量电路应该在满足测量要求的前提下尽可能实现集成化、小型化、功耗低。因此,针对不同电极结构的inficon电容薄膜真空计微电容测量电路应朝着易于集成、小型化的方向发展。
由于基于开关电容法的微电容测量电路易于集成,而静电平衡结构的微电容测量法有拓宽动态测量范围的优势,因此基于两者结合的微电容测量电路有望实现对inficon电容薄膜真空计整体测量性能的提升。另外,随着人工智能以及物联网的发展,inficon电容薄膜真空计的应用范围已经从航空航天等领域向大众化领域拓展,这使得其需求量变大,种类更多,考虑到市场的研发时间成本,研发和设计能满足不同类型的inficon电容薄膜真空计的电路是接下来inficon电容薄膜真空计微小电容测量电路的主要发展方向。
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inficon温控仪从而为客户提供快捷价优聚焦AI与物联网领域,依托自身强大的研发平台,采用英特尔、海思、恩智浦、瑞芯微、飞思卡尔等平台智能芯,打造了计算机板卡、嵌入式准系统和工业平板电脑等可于智能闸机中,EMB-2511,华北工控基于NXPiMX8MMini四核处理器打造的PICO-ITX主板,产品板载2GBDDR4内存,板载16GBEMMCFlash;板型紧凑、AllInOne设计,提供丰富的IO接口。
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现已推行&ldquo智能公交候车亭,智能化的公交候车亭涉及物联网、互联网、计算机及网络技术、嵌入式(计算机)技术等多种前沿技术,通过搭载各类传感器、工控机硬件、监控系统、显示系统等与公交信息管理中心联网互通,能够完成车辆到站轨迹、各类公共信息发布、以数字站牌为的周边信息查询和路况实时监测等功能,实现公交资源的合理分配和使用,将公交候车亭与公交信息管理中心联网互通。、尽量客户要求。
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为了更好地使装置作用强,可以校准不一样品种的真空计,要确保装置测量范围充足宽、高精度。研发人员选用多种多样计量检定方式,将静态数据比较分析法、动态性比较分析法、动态性总流量法等集成化在一起。因为各种各样方式 的基本原理、构造均不同样,乃至很有可能互相干预,研发人员持续重复地完成梯度下降法实验,创新能力地将他们设计方案组成在一起,完成宽测量范围、高精密的校准。
与此同时还具有扩展作用插口,有利于扩展标准孔板校准、测漏等作用,解决了一直以来真空校准装置沉重没法带上到当场只有在试验室校准的瓶颈问题,完成了当场真空计的准确校准。应用携带式真空计校准装置“小直尺”都发生在哪儿?携带式真空计校准装置自研发代迄今,近年来,商品获得30好几家企业的运用。“小直尺”充分发挥着“大功效”,在嫦娥系列月球探测仪、火星探测器、空间站、北斗导航等重要航空航天型号规格工作的研发实验及发送中获得了巨大运用;
在处理芯片、行波管、大气电气设备、真空泵元器件、高精密时钟、充电电池等生产全过程/生产机器设备的定时校正中也激发着关键功效;与此同时,在飞机发动机、、巡航等的实验与生产,特种钢材冶炼厂、高纯气体制备、装备生产当场都曾发生携带式真空计校正设备的小影子。高新科技要发展趋势,计量检定须优先。
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