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氦质谱检漏仪故障与处理
内部的密封结构
当检漏仪内部存在泄漏时，会对检漏工作造成较大干扰，容易造成误检、误判。 检漏仪内部主要的密封部位在检漏仪的后侧(见图2)，位于隔热板的上方：①检漏仪测试口与阀门组块的连接部位，密封方式采用胶灌密封，检漏仪在运输过程中如遇到强烈震动，此处容易造成密封胶开裂。②各电磁阀与阀门组件间的连接部位。密封方式采用氟橡胶圈或金属垫片密封，橡胶圈的密封寿命有限，使用5 年以上时，有可能会存在密封失效的问题。③各零部件接口处的密封部位。②喷吹时，要严格控制氦源的流量，尽量采用喷枪咀流量小的喷枪，提高定位的能力。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的金属垫片密封或橡胶圈密封。
氦质谱检漏用氦气的选择
氦气是一种无色、无味的隋性气体。相对分子质量为4.003，分子直径为2.18×10-10m，分子的质量为3.65×10-27kg，在标准状态下的密度为0.1769kg/m3，临界温度为5.25K，临界压力为2.26×105Pa，1atm压力下的沸点为4.214K，熔点为0.9K，三相点温度为2.186K，三相点压力为51.1×10-2Pa，在标准状态下的热导率为510.79J/(m·h·K)，在标准状态下的定压比热为5233J/(kg·K)，在标准状态下的动力粘度系数为1.86×10-5Pa·s，1L液氦气化为标准状态下的氦气体积为700L。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空，当真空度P1优于200Pa时，打开入口阀1、2，关闭抽空阀，氦气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来，此时检漏仪的较小可检漏率为10-10Pa·m3/s。
规定的瓶装氦气按纯度高低分别为工业用氦、纯氦、高纯氦三种。
1、工业用氦：氦含量≥99%，露1点≤43℃.
2、纯氦分三级：优等品氦含量≥99.995%；一等品氦含量≥99.993%；合格品氦含量≥99.99%。
3、高纯氦分为三级：优等品氦含量≥99.9996%；一等品氦含量≥99.9993%；合格品氦含量≥99.999%。
氦气在氦质谱检漏仪检漏中作为示踪气体使用，纯度要求不高，一般选用工业用氦，即氦含量≥99%，露1点≤43℃。
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如何使用检漏仪对新能源电池包泄漏进行检
随着新能源汽车行业的快速发展，新能源电池也就跟着快速发展起来了。对于电池来讲，安全性是的，不允许出现任何泄漏，一旦有泄漏，可能会产生重大事故。所以新能源电池包泄漏检测尤为重要，如何使用检漏仪对新能源电池包进行泄漏检测呢？青岛金易航科技根据客户需要，提出了一整套完善方案来检测，受到业内人士一直好评。但是当检漏仪安装在大型的、比较复杂的压力容器装置上时，也不敢确切地说喷氦法的灵敏度就是高。
一、新能源电池包泄漏检测的难点分析：
1、电池包自身笨重，不易搬动；
2、产品内部空间大；
3、铁壳较薄，充大压力气压容易变形；
4、浸到水下检测费力、费时、大漏存在 进水风险、人为主观判断难保证质量、 小漏很难检出、不符合TS16949要求。
二、新能源电池包泄漏检测解决方案及原理
1、工厂压缩空气接到检漏仪内部；
2、由检漏仪将0.4～1.2MPa的压缩空气压力调节成 对应IPX7防水标准的9.8～12KPa压力（但因电池包外壳很 薄、面积很大，由公式F=PS可得知如果充这个压力时，电 池包极易变形，所以根据实际经验，可以充4～6KPa压力， 这里比如是5KPa)；仪创新产品主要有：薄膜制备设备，真空冶金设备，检漏设备，真空系统等非标真空产品。
3、通过检漏仪往电池包180秒内充到5KPa的气压，并关 断充气源，经稳压100秒，测试100秒后，看泄漏量是不是 在标准内（标准待定），如果是，说明产品合格，如果大 于该值说明产品不合格。（注：由于电池包是密封的，气 压下降的原因就是气压从它的内部漏到了外部），实际测试时，还有一种大漏的产品，就是在180秒内充不到5KPa的 产品，也是不合格品。在进行吸入法和钟罩法时，采用氦气与氮气的混合气进行检测，能使氦气的使用成本下降70%-80%。