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在选择输送管道的材质时，我们需要考虑其渗透性、耐腐蚀性、吸附性、机械工艺性等特性。
1.目前市面上超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料大多选用不锈钢材质。像不锈钢光亮退火管、不锈钢电抛光管等这类材质相较于其他管道的材质，其精密度更高、吸水性弱，且耐腐蚀性强，而且材料成本相对综合，较受欢迎。
2.对于易炸或者有毒高纯气体，如（SiH4）、（PH3）、（AsH3）等高纯气体，我们需要使用双套管通道，将其内外都进行保护。双层设计不仅可以保护内管受到外力撞击，也能将由内管渗漏的气体阻绝于外管里面，防止泄露发生安全事故。而且对于这类气体检测装备，像压力警报器、检测泄漏器等设备都需要定期检查，避免泄气漏气。
3、选择管道管材时必须选用无缝管材。且的造型设计、内外直径尺寸都是需要测量的。而且对于材质的磨损缺陷需要及时复查，任何表面不均匀的现象都可能会造成腐蚀性不匀从而造成重大影响。
4、特别需要注意的是，所以高纯气体的管路中能使用非金属管线、密封垫片，以及非金属隔膜的减压阀、膜片阀等材质。因为这类气体对于有机聚合物都有较高的渗透率，气体之间的相互渗透将会影响气体的纯度。
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如果可燃气体瓶阀泄漏或任意安全设备泄漏，小心将气瓶移至野外开放区域，严格防火，并在气瓶上注明简要标记和警告。
储存钢瓶时，要防止受到过热和过冷气候的影响，同时要防止瓶底生锈。
应按计划存放，以区分满瓶和空瓶。
禁止将气瓶放置在热源和可燃物附近，禁止在氧气和气体储存区附近燃放不要用火焰或热灯直接给气瓶加压。禁止在可燃储气区使用有火花的东西。
储气区应清空清洁，可燃气体与氧化剂储气区之间的间隔至少为20英尺，惰性气瓶可按要求储存在隔离区。
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氧压的凹凸不同对机体各种生理功能的影响也不同。当吸入60～1OOkPa已时，其毒性突出地体现在视觉;100～2OOkPaO2时，体现在呼吸系统；30OkPaO2以上时，出现神经系统症状体征。这3种状况分别称为：眼型、肺型、脑型氧。
这是从临床角度根据不同氧压和首要体现人为地加以区分的，并不是说某型氧只要某的病理变化而无其他异常，事实上在较高氧压和较长暴露过程后，几乎全身各类安排都可遭受相应的损害。
人体各安排均不能承受过多的氧，这是因为氧自身不靠酶催化就能与不饱和脂肪酸反响，并能损坏储存这些酸的磷脂，而磷脂又是构成细胞生物膜的首要成分，然后形成细胞，这个过程叫做脂质过氧化。此外高纯氧气对细胞的损坏还在于它可产生自由基，诱发。
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当氮气浓度不太高时，患者初感到胸闷、气短、虚弱；然后易怒、极度兴奋、跑、喊、恍惚、步态不稳定，称为“氮酩酊”，可进入昏睡或昏迷状态。吸入高浓度，患者可迅速昏迷，因呼吸和心跳停止而。
①迅速将泄漏污染区人员疏散到上风处，并设置隔离区，严格限制进出。
②通知消防及相关单位。
③应急人员佩戴自给正压呼吸器、防寒服、防寒手套。
④避免泄漏液体流入地下室或其他封闭的工作空间，如不可避免，应立即通知有关部门。
⑤不要直接接触泄漏物。
⑥尽量切断泄漏源。
⑦喷雾可以加速液体蒸发，但水不能喷到液体上。
⑧防止气体在低凹处积聚，用排风机将漏气送至空旷处。
⑨禁止人员停留在低洼或下风区。
