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臭氧发生器主要由两个部分组成：一部分是一个包含有放电体的容器，通常被称为臭氧放电室；另一部分是一套为臭氧放电室提供高压电源的电源系统，通常被称为臭氧电源或供电单元（PSU）。

构成臭氧发生器的基本部分的定义如下：

※ 臭氧发生单元 ozone generation unit

组成产生臭氧的**基本元件。

※ 臭氧发生装置 ozone generation device

安装臭氧发生单元的装置，俗称“臭氧放电室”。

※ 臭氧电源装置 power supply unit

将输入电源转化为中频高压电源或高频高压电源的装置，也称为“供电单元”，使臭氧发生装置内形成高压电场。

※ 臭氧发生器 ozone generator

产生臭氧所必需的全部装置，包括臭氧发生装置和臭氧电源装置两大部分。

※ 电极 electrode

与具有不同电导率的媒质形成导电交接面的导电部分；在臭氧发生单元中系指分布高压电场的导电体。

※ 介质管（板） dielectric tube (plate)

其由基本电磁场性能是受电场作用而极化的物质所构成的零、部件；在臭氧发生单元中系指位于两电极间，造成稳定的辉光放电的绝缘体。

※ 介质强度 dielectric strength

材料能承受而不致遭到破坏的**电场强度。

※ 电晕放电 corona discharge

气体击穿后，出现极间电压减小的现象，并同时在电极周围出现昏暗辉光，称为电晕放电。

※ 辉光放电 glow discharge

当电场强度超过某值时，以发光表现出来的气体中电传导现象，此时辉光扩展到两电极之间的整个放电空间，没有大的嘶声或噪声，也没有显著的发热或电极的蒸发。