一、测试前的准备

1、应对洁净车间及其净化空气调节系统进行彻底清洁。

2、采用光散射粒子计数器对高效空气过滤器进行检漏测试。*先测定高效空气过滤器的上风侧静压箱内(或风管内)粒径大于或等于0.5微米的尘粒数应为大于或等于30，000粒/升。如若不够，可引入烟雾，然后开始检漏。将粒子计数器(或检漏装置)的采样口距离高效空气过滤器2--3厘米处，可以2～4厘米/秒的速度移动，对高效空气过滤器整个断面封头胶处和安装框架处进行扫描。当粒子计数器读数为空气口大于或等于0.5微米的尘粒超过3粒/分·升(或其穿透率大于0.01‰)即认为该处有明显渗漏，必须进行堵漏。

二、测试内容

洁净车间的总送风量、总回风量、新鲜空气量、排风量等;洁净车间装修压力值;层流洁净车间装修断面风速和气流流向;洁净工作区的洁净度;室内温度、湿度及其控制能力的调整测试;洁净车间装修内噪声。

三、洁净工作区空气洁净度的测试方法

对于粒径大于或等于0.5微米的尘粒计数，宜采用光散射粒子计数法。对于粒径大于或等于5微米的尘粒计数。也可采用滤膜显微镜计数法。光散射粒子计数法：

1、光散射粒子计数器采样量 100级：每次采样量大于或等于1升。 l，000级-l0，000级：每次采样量大于或等于0.3升。 100，000级：每次采样量大于或等于0.1升。 对于100级，宜采用大流量粒子计数器进行测试; 如果条件不具时，可采用每次采样量不小于1升的粒子计数器。

2、测点布置

(l)检测在洁净工作区内进行。当生产工艺无特殊要求时，取样高度宜为离地面1米。

(2)层流测点总数不小于20点，测点间距为0.5～2.0米，粒径大于或等于0.5微米的尘粒数允许有一个点超过。水平层流测点仅布置在**洁净工作区内。

(3)乱流可按洁净面积小于或等于50平方米布置5个测点。每增加20-50平方米，增加3--5个测点。

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