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河北硅片除气装置品牌诚信企业「科创真空」乌发黑发
2023-10-19 02:02  浏览:24
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5分钟前 河北硅片除气装置品牌诚信企业「科创真空」[科创真空557abea]内容:

真空除气炉的构成介绍

真空测量装置:采用复合真空计,使测量更加准确。

加热烘烤组件:采用铠装管加热,包括工件托盘及支架,箱室顶部中心测温。功率:9.5千瓦,控制精度:±1℃。

管道阀门:真空阀门、真空管道均采用304不锈钢材料制成,为获得较好的真空提供了必要的物质基础。

真空获得系统单元由前级泵、分子泵、管道阀门等组成。

前级泵:选用涡旋干式真空泵,无油运行,可为真空箱室提供洁净的真空环境。

分子泵:选用脂润滑复合分子泵,可为真空箱室提供高真空和洁净的真空环境。

管道阀门:真空阀门、真空管道均采用304不锈钢材料制成,为获得较好的真空提供了必要的物质基础。

真空除气储存柜的加热系统

1、加热区尺寸:定制

2、加热功率:30-80 KW(实际功率可调)

3、加热元件:钼片

4、隔热组件:钼+不锈钢

5、温度测量:S型热电偶

6、控温精度:±1℃

7、升温速率 :由室温升至1000℃小于80min(空载)

8、加热室:采用圆筒形加热室结构。隔热屏采用多层钼结构,各层之间采用99刚玉陶瓷,发热体为钼片,钼片均匀环绕在隔热屏周围,实现良好的温度均匀性。具有使用寿命长、隔热保温性能好、真空放气量较少。外框使用不锈钢(310S)板材料,并且焊接多道加强筋以保证不变形。

9、加热控制:采用PID智能控温模块设计,可编辑30+段升温曲线,存贮20+组工艺配方,组合PLC等实现超压、超温、过流等自动报警保护功能,10寸液晶触摸屏显示操作,具有操作方便,功能强大,稳定性好等特点。

真空除气储存柜通过以下技术方案得以实现

一种真空除气存储柜,包括真空室、真空系统、加热系统、水冷、柜体等,柜体内设置有一个或多个储物室,储物室朝向柜体前端的一端为储物室的开口端,柜体上设置有将储物室的开口端封闭的封盖,储物室的内部底端设置有能够自储物室的开口端抽出的水平的托板,托板的两侧与储物室内部相对的两个侧壁滑动相连,真空除气炉。

真空除气储存柜维护要求

真空除气储存柜,又称真空存储箱,用于各类金属材料,化工原料,半导体芯片、电路板、电子器件,电池片、电池材料等其他易氧化材料的真空存储,防潮、防氧化。也可用于胶水的真空脱泡、除气等作用,经常在真空灌胶消气泡的工艺过程中应用。

1、放入需要保存的产品,快速抽真空到极限真空,可能逐渐回压到一个平衡值,长期保存;

2、放入保存的产品后,启动程序,快速抽至真空下限值,持续保压如箱内回压到上限值之后,会自动启动抽真空至下限值;

3、抽真空至下真空度后,自动充入氮气至常压,在无氧环境下保存产品。

为了提高空间的利用率,通常可以分为两腔,三腔,四腔,六腔体等等。根据产品的存放要求,存放时间和工艺产线要求,程序可以做不同的调整。

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