1、有用溶剂回收系统和填料：
工业废气处理设备中的有用溶剂回收系统是怎么确定吸收速率呢？那就是要均匀地分布吸收剂，所以有用溶剂回收系统能够确定液体的均匀分布。可以增加吸收剂和气体接触的面积，以利于气液充足接触，提升对三苯有用物的吸收速率，填料的主要作用是提升阻力，使气体的流速减缓。
2、气液分离器：
在工业废气处理设备中要采用气液分离器，它能在末端将排放气体中夹带的溶剂分离并回收系统内部，使得出入口的气体中有用物含量不超过标准。
3、风机风量和风压：
大家都知道选择什么工业废气处理设备都是配置适当的风机才能收集气体，风量太小没有办法起到收集气体的作用，风量太大就产生的浪费，风压太高的话，会把吸收剂从出入口带走，总之，适当的选择风机风量是很重要的，所以一般这个设计都是由技术人员来进行的。
蓄热燃烧设备的工艺流程：
1、自身热平衡式：
当有用废气排出时温度较不错（在300℃左右），高于起燃温度，且有用物含量较不错，热交换器回收部分净化气体所产生的热量，在正常操作下能够维持热平衡，无需补充热量，通常只需要在催化燃烧反应器中设置电加热器供起燃时使用。
2、对于有用废气催化燃烧工艺的选择主要取决于：
燃烧过程的放热量，即废气中可燃物的种类和浓度；起燃温度，即有用组分的性质及催化剂活性；热回收率等。当回收热量超过预热所需热量时，可实现自身热平衡运转，无需外界补充热源，这是节能的。
3、预热式：
预热式是催化燃烧的基本流程形式。有用废气温度在100℃以下，浓度也较低，热量不能自给，因此在进入反应器前需要在预热室加热升温，燃烧净化后气体在热交换器内与未处理废气进行热交换，以回收部分热量。该工艺通常采用煤气或电加热升温至催化反应所需的起燃温度。4、吸附-催化燃烧：
当有用废气的流量大、浓度低、温度低，采用催化燃烧需耗大量燃料时，可先采用吸附手段将有用废气吸附于吸附剂上进行浓缩，然后通过热空气吹扫，使有用废气脱附出来成为浓缩了的浓度好有用废气（可浓缩10倍以上），再进行催化燃烧。此时，不需要补充热源，就可维持正常运行。
rto蓄热燃烧设备的核心技术是催化剂的选择，不同催化剂的使用效果差别很大。目前用于催化燃烧的催化剂主要有三种：贵金属催化剂、复合氧化物催化剂和稀土催化剂，有一下的优点：
1、由于催化剂的存在，催化燃烧法的着火温度很低，一般在200—400℃，可以降低能耗和NOX的生成。
2、净化速率不错，没有二次污染。
3、工艺简单，操作稳定。
4、可以处理成分复杂的低浓度VOCs。一般来说，低浓度的碳氢化合物、醇可以通过催化燃烧进行处理。
5、自动化控制，能耗低、操作简单，遇故障自动报警，低耗节能使用寿命不错。
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